重復定位精度：±2μm
定位精度：5μm
有效行程：100 - 800mm
最高速度：500mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：30kg

重復定位精度：±2μm
定位精度：5μm
有效行程：100 - 800mm
最高速度：500mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：30kg

單向重復定位精度：0.4μm
雙向重復定位精度：±2μm
有效行程：102mm × 102mm
直線度 / 平面度：±2μm
最小位移：0.4μm

重復定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：10kg

XY軸重復定位精度：±2μm
XY軸定位精度：5μm
有效行程：300mm
最高速度：500mm/s
直線度：6μm/500mm
最大負載：5kg

重復定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：10kg

重復定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：10kg

重復定位精度：±2μm
定位精度：5μm
有效行程：100 - 1000mm
最高速度：2000mm/s
直線度：±1.5μm
行走平面度：±1.5μm
最大負載：15kg - 100kg

重復定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：10kg

重復定位精度：±5μm
定位精度：8μm
有效行程：100 - 500mm
最高速度：300mm/s
最大負載：8kg

有效行程：300mm x 300mm
定位精度：0.05μm
雙向重復定位精度：±0.1μm
最高速度：200mm/s
直線度：1μm / 300mm
平面度：000級
最大水平負載：10kg

有效行程：300mm x 300mm
定位精度：0.3μm
雙向重復定位精度：±0.1μm
最高速度：1000mm/s
直線度：2μm / 300mm
平面度：000級
最大水平負載：50kg