公告：
喜報！雷子科技通過“高新技術企業(yè)”認定！
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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
一款高精密XY位移平臺，高運動精度和穩(wěn)定性。非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置，可選中空設計。采用UP級交叉滾子導軌，具有高負載能力、長使用壽命、使用免保養(yǎng)和高導向精度等多種特點?？膳銻軸旋轉軸，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等。
單向重復定位精度：0.4μm
雙向重復定位精度：±2μm
有效行程：102mm × 102mm
直線度 / 平面度：±2μm
最小位移：0.4μm
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業(yè)務人員。
單向重復精度高，運動速度快；
增量線性編碼器分辨率可達1納米；
兩相步進電機可實現(xiàn)高轉矩和高分辨率；
直流電機可實現(xiàn)高速度穩(wěn)定性、低振動和高速；
循環(huán)滾珠軸承負載能力高、使用壽命長。
| 規(guī)格 型號 | LEIZ-XY-102 |
| 單向重復定位精度 | 0.4μm |
| 雙向重復定位精度 | ±2μm |
| 有效行程 | 102mm × 102mm |
| 直線度 / 平面度 | ±2μm |
| 最小位移 | 0.4μm |
| 角度誤差xry | ±40μrad |
| 角度誤差xrz | ±20μrad |
| 角度誤差yrx | ±40μrad |
| 角度誤差yrz | ±20μrad |
注意：以上測試數據均在實驗室環(huán)境下，僅做為選型參數使用，最終參數以出廠產品為準。
