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四軸精密運動平臺

  • 一般環境使用,無塵環境使用
  • 一款四軸精密運動臺,XY軸十字疊層三片式結構,配備精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點,R軸轉臺結構扁平薄,可360度旋轉,用于角度調整。采用防塵設計,有效防止異物進入直線臺,影響使用壽命。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。

  • 產品參數

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

一款四軸精密運動臺,XY軸十字疊層三片式結構,配備精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點,R軸轉臺結構扁平薄,三軸疊層后降低工作點的高度,可360度旋轉,用于角度調整。采用防塵設計,有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進入直線臺,影響使用壽命,同時不受防塵罩擾動力的影響,位置反饋采用光柵尺閉環反饋系統,定位更**。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。

超高精密大理石直線運動平臺


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