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精密運動平臺定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 3D熔覆實驗平臺

3D熔覆實驗平臺

  • 一般環境使用,無塵環境使用
  • 3D熔覆實驗平臺,也是一款直驅龍門雙驅精密運動臺,擁有高剛性,大負載,高精度等優越的性能,多種行程可選擇,采用無鐵芯直線電機驅動,配備自潤滑的精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點。

  • 產品參數

    重復定位精度:±2μm
    定位精度:5μm
    有效行程:100 - 800mm
    最高速度:500mm/s
    直線度:6μm / 500mm
    最大負載:30kg

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

運動平臺特點

  • 高精度的直驅結構;

  • 中型寬度尺寸高剛度設計;

  • 精密滾柱直線導軌;

  • 多種行程可選;

  • 光柵尺閉環反饋;

  • 可配置龍門Z軸及旋轉R軸。  


運動平臺參數

 規格  軸向 X軸 / Y軸
重復定位精度±2μm
定位精度5μm
有效行程100 - 800mm
最高速度500mm/s 
直線度6μm / 500mm
平面度000級
最大加速度2G
最大負載30kg
光柵尺分辨率0.5μm

注意:以上參數僅做為選型參數使用,最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。


本文關鍵詞: 直線運動平臺

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