xy軸精密定位平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用

• xy軸精密大理石直線電機(jī)定位平臺(tái)，采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌，全套雷尼紹光柵，檢測(cè)精度0.1um，多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測(cè)。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  重復(fù)定位精度：±0.001mm
  絕對(duì)定位精度：±0.004mm
  XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm
  非標(biāo)定制產(chǎn)品，配置價(jià)格請(qǐng)咨詢！
  *絕對(duì)定位精度需通過(guò)軟件修正。

  Tips：絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。