三軸大理石運動平臺

• 一款直驅(qū)三軸精密大理石運動臺，XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu)，配備自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好等特點，R軸轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)扁平薄，可360度旋轉(zhuǎn)，采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設計。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  重復定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直線度：6μm / 500mm
  最大負載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務人員。