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精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定做廠家

代工各類精密直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、半導(dǎo)體及檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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  • 三軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

三軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

  • 一款直驅(qū)三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu),配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌,承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn),R軸轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)扁平薄,可360度旋轉(zhuǎn),采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設(shè)計(jì)。用于晶圓切割、激光加工、測(cè)試測(cè)量、電子元件組裝及檢驗(yàn)等領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。

應(yīng)用領(lǐng)域:

一款直驅(qū)三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),帶旋轉(zhuǎn)功能用于晶圓切割、激光加工、測(cè)試測(cè)量、電子元件組裝及檢驗(yàn)等領(lǐng)域。


結(jié)構(gòu)特點(diǎn):

XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu),底軸寬度約是上軸長(zhǎng)度的2/3,移動(dòng)到極限位置時(shí),防止重心不穩(wěn)定。配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌,承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。R軸轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)扁平薄,三軸疊層后降低工作點(diǎn)的高度,可360度旋轉(zhuǎn),用于角度調(diào)整,是晶圓切割加工應(yīng)用的理想選擇。


精度性能:

采用光柵閉環(huán)反饋,考慮材料的熱膨脹影響,加工工藝和裝配工藝等,使XY軸重復(fù)定位精度≤±0.4μm,全行程直線度±1μm和平面度±1.25μm,R軸微動(dòng)步距1arc sec。


防塵管理:

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的防塵設(shè)計(jì),有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進(jìn)入直線臺(tái),影響使用壽命,同時(shí)不受防塵罩?jǐn)_動(dòng)力的影響。


定制化:

根據(jù)應(yīng)用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產(chǎn)效率等;可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統(tǒng)方案。


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