XY氣浮運動平臺

• 一般環(huán)境使用,無塵環(huán)境使用

• 一款XY平面式氣浮平臺，雙驅(qū)橫梁均采用空氣導(dǎo)軌的 H 橋式結(jié)構(gòu)。采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提高動態(tài)性能。可以根據(jù)客戶需求配置、行程、負(fù)載、特殊結(jié)構(gòu)等進(jìn)行評估定制。用于不同尺寸和工藝的晶圓檢測及其他高精密檢測應(yīng)用場景。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  有效行程：300mm x 300mm
  定位精度：0.3μm
  雙向重復(fù)定位精度：±0.1μm
  最高速度：1000mm/s
  直線度：2μm / 300mm
  平面度：000級
  最大水平負(fù)載：50kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。