雙軸氣浮運(yùn)動平臺

• 一般環(huán)境使用,無塵環(huán)境使用

• 一款閉式氣浮導(dǎo)軌雙軸氣浮運(yùn)動臺，采用氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，十字疊層結(jié)構(gòu)。閉式氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮導(dǎo)軌四面均勻受力，相較于開式氣浮結(jié)構(gòu)，側(cè)向氣浮剛度更大，承載能力強(qiáng)，模態(tài)高，具有超高重復(fù)定位精度和定位精度的平臺。用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業(yè)。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  有效行程：300mm x 300mm
  定位精度：0.05μm
  雙向重復(fù)定位精度：±0.1μm
  最高速度：200mm/s
  直線度：1μm / 300mm
  平面度：000級
  最大水平負(fù)載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。