
激光實驗平臺配置可根據(jù)具體需求有所不同,除了激光器和控制系統(tǒng)外,主要還有高精密工作臺,執(zhí)行單元可采用高精密的直驅(qū)電機,大理石底座提供穩(wěn)定可靠的基礎(chǔ)。XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu),帶旋轉(zhuǎn)功能。底軸寬度約是上軸長度的2/3,可防止重心不穩(wěn)定。配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌,具有精度高、剛性好等特點。R軸轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)扁平薄,可360度旋轉(zhuǎn)用于角度調(diào)整。
重復(fù)定位精度:±1μm
定位精度:3μm
有效行程:100 - 350mm
最高速度:300mm/s
直線度:6μm / 500mm
最大負載:10kg
Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產(chǎn)生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。
激光實驗平臺屬于高精密運動平臺,通常用作高精密激光雕刻、切割等生產(chǎn)制造,根據(jù)用戶需求配置大有不同,通常使用大理石框架和直驅(qū)電機,配合光柵尺精密反饋,更多激光實驗平臺方案請咨詢。
高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu);
中型寬度,高剛度設(shè)計;
光柵尺閉環(huán)反饋;
R軸角度定位;
定制高加速度;
可選配防塵罩裝置。
| 規(guī)格 軸向 | X軸 | Y軸 | R軸 |
| 重復(fù)定位精度 | ±1μm | ±1μm | ±5 arc sec |
| 定位精度 | 3μm | 3μm | 30 arc sec |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm | - |
| 最高速度 | 300mm/s | - | |
| 直線度 | 6μm / 500mm | - | |
| 行走平面度 | 000級 | - | |
| 加速度 | 0.5G | - | |
| 最大負載 | 10kg | - | |
| 光柵尺分辨率 | 0.1μm | - | |
注意:以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用,最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實驗環(huán)境下激光干涉儀補償后測得。
本文關(guān)鍵詞: 精密運動平臺