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精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 激光實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

激光實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

  • 一般環(huán)境使用
  • 激光實(shí)驗(yàn)平臺(tái)配置可根據(jù)具體需求有所不同,除了激光器和控制系統(tǒng)外,主要還有高精密工作臺(tái),執(zhí)行單元可采用高精密的直驅(qū)電機(jī),大理石底座提供穩(wěn)定可靠的基礎(chǔ)。XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu),帶旋轉(zhuǎn)功能。底軸寬度約是上軸長度的2/3,可防止重心不穩(wěn)定。配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌,具有精度高、剛性好等特點(diǎn)。R軸轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)扁平薄,可360度旋轉(zhuǎn)用于角度調(diào)整。

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    重復(fù)定位精度:±1μm
    定位精度:3μm
    有效行程:100 - 350mm
    最高速度:300mm/s
    直線度:6μm / 500mm
    最大負(fù)載:10kg

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。

激光實(shí)驗(yàn)平臺(tái)屬于高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),通常用作高精密激光雕刻、切割等生產(chǎn)制造,根據(jù)用戶需求配置大有不同,通常使用大理石框架和直驅(qū)電機(jī),配合光柵尺精密反饋,更多激光實(shí)驗(yàn)平臺(tái)方案請(qǐng)咨詢。


運(yùn)動(dòng)平臺(tái)特點(diǎn)

  • 高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu);

  • 中型寬度,高剛度設(shè)計(jì);

  • 光柵尺閉環(huán)反饋;

  • R軸角度定位;

  • 定制高加速度;

  • 可選配防塵罩裝置。 


運(yùn)動(dòng)平臺(tái)參數(shù)

 規(guī)格  軸向 X軸Y軸R軸
重復(fù)定位精度±1μm±1μm±5 arc sec
定位精度3μm3μm30 arc sec
有效行程100 - 350mm100 - 600mm-
最高速度300mm/s-
直線度6μm / 500mm   -
行走平面度000級(jí) -
加速度0.5G-
最大負(fù)載10kg-
光柵尺分辨率0.1μm-

注意:以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用,最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實(shí)驗(yàn)環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測(cè)得。


本文關(guān)鍵詞: 精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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